堀场汇博隆质量流量控制器
产品概述
本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量，所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。
产品特点
1、高精度
2、快速响应
3、自动调零
4、任意角度安装
应用领域
质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制，适用于各种气体，精度高，零漂小，无需矫正可任意角度安装。
基本参数
项目 |
S500 (规格Type AR111) |
外部密封 |
氟橡胶 |
接触气体材料 |
SUS316L,氟橡胶,磁性不锈钢 |
调节阀类型 |
非通电时常闭 |
满量程流量(N2换算流量) |
10,20,30,50,100,200,300,500 mL/min |
流量控制范围 |
2%～100%F.S. (0.1～5V DC) |
流量测量范围 |
0～100%F.S. (0～5V DC) |
响应时间（输出电压） |
1秒 (保证 1.5秒以内T98) |
工作环境温度 |
5～45℃ (精度保证 15～35℃) |
流量精度 |
±1.0%F.S |
线性 |
±0.5%F.S. |
重复性 |
±0.2%F.S. |
工作压差 |
10mL/min～5L/min :50～300kPa(d) |
最大工作（使用）压力 |
300kPa(G) |
耐压 |
3MPa(G) |
泄漏率 |
1×10-8Pa?m3/s(He)以下 |
流量设定信号 |
0.1～5VDC(2%～100%F.S.) |
流量输出信号 |
0～5VDC(0%～100%F.S.) |
供电电源 |
+15V±5% 100mA以下 |
管路接头 |
1/4inch HM-SWL、1/4inch SWL、φ6mm HM-SWL、1/4inch VCR |
安装角度 |
任意 |
电气接头 |
D-Sub 15pin |
输入输出阻抗 |
输入：1MΩ以上 输出：3mA以下 |
附加功能 |
Auto-zero、Auto-close |
**满量程流量50mL/min一下的响应时间为2S以内
其他类型