堀场汇博隆质量流量控制器
产品概述
本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量，所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。
产品特点
1、可以任意角度安装
2、良好的线性——多段线性补偿
3、快速的响应
4、电磁阀使用寿命≥100万次
5、对零点漂移有效的抑制
6、全球化的零配件供应 ——传感器、分流器、精密元器件日本进口
7、良好的选择性
应用领域
质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制，适用于各种气体，精度高，零漂小，无需矫正可任意角度安装。
基本参数
编号 |
项目 |
S48 28/HMT |
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1 |
流量规格 |
(100,150,200)L/min |
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2 |
调节阀类型 |
电磁调节阀 |
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3 |
调节阀静止状态 |
常闭 |
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4 |
安装角度 |
任意 |
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5 |
流量控制范围 |
5%～100% |
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6 |
流量测量范围 |
0～100% |
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7 |
响应时间 |
2s（T98，设定值的±2% F.S.） |
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8 |
工作环境温度 |
5℃～50℃ |
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9 |
精度保证温度 |
15℃～35℃ |
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10 |
精度 |
±1.0%F.S. |
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11 |
线性精度 |
±0.5%F.S. |
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12 |
重复性 |
±0.2%F.S. |
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13 |
工作压差 |
（100/150/200)L/min:(100/150/200)～300kPa |
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14 |
耐压 |
3MPa |
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15 |
泄漏率 |
1×10-8 Pa•m3/s （He） |
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16 |
接触气体材料 |
316L,PTFE,Viton氟橡胶 |
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17 |
管路接头 |
Swagelok:3/8″ Φ10 VCR:1/2″ VCR:1/4″3/8″ |
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18 |
供电电源 |
±15VDC(±5%) |
+24VDC(宽电压+11～+25V), |
19 |
设定信号 |
(0～5)VDC 输入阻抗＞1MΩ |
4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V） |
20 |
流量输出信号 |
(0～5)VDC 负载能力≤3mA |
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21 |
电气接头 |
D-SUB15,D-SUB9 |
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22 |
重量(kg) |
2.8 |
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其他类型
