堀场汇博隆质量流量控制器
产品概述
本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量，所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。
产品特点
1、高/低耐压可选
2、最大量程30L/min
应用领域
质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制，适用于各种气体，精度高，零漂小，无需矫正可任意角度安装。
基本参数
编号 |
项目 |
S49 33/MT |
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1 |
流量规格 |
(5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min |
(15,20,30) L/min |
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2 |
调节阀类型 |
电磁调节阀 |
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3 |
调节阀静止位置 |
常闭 |
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4 |
准确度 |
± 1.0% F.S |
± 2.0% F.S |
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5 |
线性 |
±1.0 % F.S，±2.0 % F.S |
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6 |
重复精度 |
±0.2 %F.S |
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7 |
响应时间 |
≤8 s（T95） |
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8 |
工作压差范围 |
(50 ～ 300) kPa； (10～30)L/min (100～300)kPa |
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9 |
耐压 |
3 MPa ﹑ 10 MPa |
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10 |
工作环境温度 |
5℃ ～ 45℃ |
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11 |
材料 |
不锈钢316L |
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12 |
标准密封材料 |
Viton®﹑EPDM, 或其他 |
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13 |
漏率 |
1×10-8 Pa.m3/s |
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14 |
接头 |
Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， |
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15 |
输入输出信号 |
0 V ～ +5.00 V |
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16 |
电源 |
+15 V 50 mA |
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17 |
外形尺寸 mm |
134×134×38 |
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18 |
重量 kg |
1.2 |
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其他类型
