堀场汇博隆质量流量控制器
产品概述
本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量，所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。
产品特点
1、国产产品
2、快速响应
应用领域
质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制，适用于各种气体，精度高，零漂小，无需矫正可任意角度安装。
基本参数
编号 |
项目 |
S49 31/MT |
S49 31A/MT |
1 |
流量规格 |
(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; |
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2 |
调节阀类型 |
电磁调节阀 |
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3 |
调节阀静止状态 |
常闭 |
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4 |
准确度 |
±1%F.S(10mL/min～5L/min规格，其余规格≤±2% F.S) |
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5 |
线性 |
±1.0%F.S，±1.5%F.S |
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6 |
重复精度 |
±0.2%F.S |
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7 |
响应时间 |
(3～4)s |
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8 |
工作压差范围 |
(0.05～0.3)MPa; (0.1～0.3)MPa(10～30)L/min |
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9 |
耐压 |
3MPa; 10MPa |
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10 |
工作环境温度 |
5℃～45℃ |
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11 |
材料 |
不锈钢316L |
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12 |
标准密封材料 |
Viton®， EPDM， 或其他由用户指定 |
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13 |
漏率 |
1×10-9atm.mL/s (He) |
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14 |
接头 |
Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， |
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15 |
输入输出信号 |
0V～＋5.00V (输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA) |
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16 |
供电电源 |
±15V（±2%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） |
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17 |
外形尺寸mm |
134×134×38 |
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18 |
重量kg |
1.0 |
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其他类型
