堀场汇博隆质量流量控制器
产品概述
本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量，所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。
产品特点
1、可以任意角度安装
2、良好的线性——多段线性补偿
3、快速的响应
4、电磁阀使用寿命≥100万次
5、对零点漂移有效的抑制
6、全球化的零配件供应 ——传感器、分流器、精密元器件日本进口
7、良好的选择性
应用领域
质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制，适用于各种气体，精度高，零漂小，无需矫正可任意角度安装。
基本参数
编号 |
项目 |
S48 W/HMT |
1 |
流量规格 |
最小10mL/min; |
2 |
调节阀类型 |
电磁调节阀 |
3 |
调节阀静止状态 |
常闭 |
4 |
安装角度 |
任意 |
5 |
流量控制范围 |
2%～100% |
6 |
准确度 |
±1.0% S.P.(≥30% F.S.) |
7 |
线性 |
±0.5%F.S. |
8 |
重复精度 |
±0.2%F.S. |
9 |
工作压差范围 |
(0.05~0.3)MPa(<10L/min); |
10 |
耐压 |
3MPa |
11 |
工作环境温度 |
5℃~45℃ |
12 |
精度保证温度 |
15℃~35℃ |
13 |
接触气体材料 |
316L,Viton®,PTFE,或其他 |
14 |
漏率 |
＜1×10-8Pa·m3/s |
15 |
接头 |
Swagelok:Φ6mm,1/4″ |
16 |
输入信号 |
数字l:RS485 |
17 |
输出信号 |
数字l:RS485 |
18 |
通讯接口 |
数字:RS485 |
19 |
供电电源 |
±15V(±2%) |
其他类型
