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堀场汇博隆质量流量控制器

产品概述

本产品为热式质量流量控制器,利用气流流过毛细管,改变毛细管温度分布,造成上下游温差方法,而测得气体质量流量。不同于容积式流量计,其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量,所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。

产品特点

1、可以任意角度安装

2、良好的线性——多段线性补偿

3、快速的响应

4、电磁阀使用寿命≥100万次

5、对零点漂移有效的抑制

6、全球化的零配件供应 ——传感器、分流器、精密元器件日本进口

7、良好的选择性

应用领域

质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制,适用于各种气体,精度高,零漂小,无需矫正可任意角度安装。

基本参数

编号

项目

S48 300/HMT

1

流量规格

 (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;
(1,2,3,,5,10,20,30,50)L/min

2

调节阀类型

电磁调节阀

3

调节阀静止状态

常闭

4

安装角度

任意

5

流量控制范围

2%~100%

6

准确度

±1.0% S.P.(≥30% F.S.)
±0.30% F.S.(<30% F.S.)

7

线性

±0.5% F.S.

8

重复精度

±0.2% F.S.

9

响应时间

 ≤1s

10

工作压差范围

(0.05~0.3)MPa(<10L/min):
(0.1~0.3)MPa(10~50)L/min;
 (0.15~0.3)MPa 50L/min     

11

耐压

 ±3MPa

12

工作环境温度

55℃~50℃

13

精度保证温度

15℃~35℃

14

接触气体材料

316L,PTFE,Viton或其他

15

漏率

<1×10-8 Pa•m3/s 

16

接头

Swagelok:Φ6mm,1/4″ 
VCR:1/4″或其他

17

输入信号

 数字:RS232/RS485
 模拟:(0~+5.00)V,输入阻抗>100KΩ
VCR:1/4″3/8″

18

输出信号

 数字:RS232/RS485
 模拟:(0~+5.00)V,负载能力≤3mA

19

通讯接口

数字:RS232/RS485  波特率:4800/9600/19200Bps
协议丛机   设备号可选范围:0~15

20

供电电源

±15V(±5%)
(+15V,150mA;-15V,200mA)

21

重量

 0.9

其他类型