堀场汇博隆质量流量控制器

产品概述

本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量，所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。

产品特点

1、橡胶密封

2、高性价比

3、国产产品

应用领域

质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制，适用于各种气体，精度高，零漂小，无需矫正可任意角度安装。

基本参数

编号	项目	S49 32/MT
1	流量规格	（5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min （1,2,3,5,10）L/min
2	调节阀类型	电磁调节阀
3	调节阀静止状态	常闭
4	准确度	±1.5%F.S
5	线性	±1.5%F.S
6	重复精度	±0.2%F.S
7	响应时间	≤8秒（T95）
8	工作压差范围	（50～300）kPa;   （100～300）kPa(10L/min)
9	耐压	3MPa;           10MPa
10	工作环境温度	（5～45）℃
11	材料	不锈钢316L
12	标准密封材料	Viton®，    EPDM，  或其他由用户指定
13	漏率	1×10-8Pa.m3/s
14	接头	Φ6mm～Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用户指定
15	输入输出信号	（0～＋5.00）V (输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA)
16	供电电源	±15V（±5%）（＋15V  50mA,  －15V  200mA）
17	外形尺寸mm	130（宽）×102（高）×28（厚）
18	重量kg	0．8

其他类型