堀场汇博隆质量流量控制器
产品概述
本产品为热式质量流量控制器,利用气流流过毛细管,改变毛细管温度分布,造成上下游温差方法,而测得气体质量流量。不同于容积式流量计,其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量,所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。
产品特点
1、橡胶密封
2、高性价比
3、国产产品
应用领域
质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制,适用于各种气体,精度高,零漂小,无需矫正可任意角度安装。
基本参数
编号 |
项目 |
S49 32/MT |
1 |
流量规格 |
(5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min |
2 |
调节阀类型 |
电磁调节阀 |
3 |
调节阀静止状态 |
常闭 |
4 |
准确度 |
±1.5%F.S |
5 |
线性 |
±1.5%F.S |
6 |
重复精度 |
±0.2%F.S |
7 |
响应时间 |
≤8秒(T95) |
8 |
工作压差范围 |
(50~300)kPa; (100~300)kPa(10L/min) |
9 |
耐压 |
3MPa; 10MPa |
10 |
工作环境温度 |
(5~45)℃ |
11 |
材料 |
不锈钢316L |
12 |
标准密封材料 |
Viton®, EPDM, 或其他由用户指定 |
13 |
漏率 |
1×10-8Pa.m3/s |
14 |
接头 |
Φ6mm~Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用户指定 |
15 |
输入输出信号 |
(0~+5.00)V (输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA) |
16 |
供电电源 |
±15V(±5%)(+15V 50mA, -15V 200mA) |
17 |
外形尺寸mm |
130(宽)×102(高)×28(厚) |
18 |
重量kg |
0.8 |
其他类型